上海節(jié)能技術(shù)展關(guān)注到歐洲于今年6月啟動(dòng)了一項(xiàng)總投資達(dá)6380萬(wàn)美元的重大科研計(jì)劃"GENESIS"，該計(jì)劃由法國(guó)研究機(jī)構(gòu)CEA-Leti牽頭，旨在從根本上改善歐洲半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的環(huán)境足跡。這項(xiàng)為期三年的計(jì)劃集結(jié)了來(lái)自歐洲半導(dǎo)體領(lǐng)域的58個(gè)成員單位，包括大型企業(yè)、中小企業(yè)、研究機(jī)構(gòu)和高等院校，共同致力于半導(dǎo)體制造過(guò)程的綠色技術(shù)突破。

實(shí)時(shí)排放追蹤與先進(jìn)監(jiān)測(cè)技術(shù)

GENESIS計(jì)劃針對(duì)芯片制造的五個(gè)關(guān)鍵階段制定了全面的技術(shù)發(fā)展路線圖，涵蓋材料開發(fā)、化學(xué)制程、廢棄物監(jiān)測(cè)和處理、氣體排放控制以及最終廢棄物處理。該計(jì)劃的核心創(chuàng)新之一是開發(fā)實(shí)時(shí)排放追蹤系統(tǒng)，通過(guò)先進(jìn)的制程監(jiān)控和傳感技術(shù)，使制造商能夠在生產(chǎn)過(guò)程中即時(shí)發(fā)現(xiàn)環(huán)境沖擊，而非傳統(tǒng)的事后檢測(cè)方式。

這項(xiàng)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)技術(shù)整合了高精度傳感器和數(shù)據(jù)分析算法，能夠?qū)ιa(chǎn)過(guò)程中的氣體排放、化學(xué)品消耗和能源使用進(jìn)行毫秒級(jí)監(jiān)控。通過(guò)建立數(shù)字孿生模型，系統(tǒng)可以預(yù)測(cè)潛在的環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)并提供優(yōu)化建議，從而實(shí)現(xiàn)從被動(dòng)治理到主動(dòng)預(yù)防的轉(zhuǎn)變。

廢棄物資源化與化學(xué)品替代創(chuàng)新

減少?gòu)U棄物是GENESIS計(jì)劃的另一優(yōu)先課題。研究團(tuán)隊(duì)正在開發(fā)先進(jìn)的回收系統(tǒng)，針對(duì)通常被丟棄的溶劑、氣體和研磨液進(jìn)行資源化利用。新型回收技術(shù)采用分子級(jí)分離和純化工藝，能夠?qū)⑹褂眠^(guò)的化學(xué)品恢復(fù)到半導(dǎo)體級(jí)純度，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)循環(huán)使用。

在材料創(chuàng)新方面，計(jì)劃致力于開發(fā)全氟/多氟烷基物質(zhì)（PFAS）的替代品，并降低材料的全球變暖潛能值（GWP）。研究團(tuán)隊(duì)通過(guò)計(jì)算材料科學(xué)和綠色化學(xué)原理，設(shè)計(jì)新型環(huán)保化學(xué)品，在保持性能的同時(shí)顯著降低對(duì)環(huán)境的影響。這些創(chuàng)新將有效改善半導(dǎo)體制造中一些最具挑戰(zhàn)性的工藝環(huán)節(jié)的環(huán)境表現(xiàn)。

關(guān)鍵原材料替代與供應(yīng)鏈韌性

GENESIS計(jì)劃還著力解決歐洲在關(guān)鍵原材料方面的供應(yīng)鏈脆弱性問題。通過(guò)材料創(chuàng)新和工藝優(yōu)化，研發(fā)團(tuán)隊(duì)正在開發(fā)減少對(duì)稀缺原材料依賴的技術(shù)方案。具體措施包括開發(fā)新型半導(dǎo)體材料、提高材料利用效率，以及探索基于豐富元素的替代材料體系。

這些技術(shù)突破將顯著增強(qiáng)歐洲半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的韌性和可持續(xù)性。通過(guò)建立多元化的材料供應(yīng)體系和循環(huán)利用模式，計(jì)劃旨在降低地緣政治風(fēng)險(xiǎn)和市場(chǎng)價(jià)格波動(dòng)對(duì)產(chǎn)業(yè)的影響。

技術(shù)成果與產(chǎn)業(yè)影響

據(jù)CEA-Leti可持續(xù)電子項(xiàng)目主任兼計(jì)劃負(fù)責(zé)人Laurent Pain介紹，GENESIS計(jì)劃預(yù)計(jì)將推出約45項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)成果，涵蓋從材料到制造的全產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)。這些技術(shù)成果將共同提高整個(gè)半導(dǎo)體芯片價(jià)值鏈的可持續(xù)性表現(xiàn)。

隨著芯片在人工智能系統(tǒng)、清潔能源技術(shù)等各個(gè)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，半導(dǎo)體制造的環(huán)境表現(xiàn)正受到日益嚴(yán)格的審查。上海節(jié)能技術(shù)展了解到GENESIS計(jì)劃的技術(shù)創(chuàng)新將為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供可行的綠色發(fā)展路徑，推動(dòng)行業(yè)向更加環(huán)保、高效的方向轉(zhuǎn)型。這項(xiàng)計(jì)劃的成功實(shí)施，不僅將鞏固歐洲在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)先地位，也將為全球電子產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展樹立新的標(biāo)桿。

來(lái)源：產(chǎn)業(yè)永續(xù)發(fā)展整合資訊網(wǎng)

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